作用：用于改变被控量，如电机作为执行元件可以改变机械臂的角度；测量元件用于测量被控量，如采用旋转变压器或者码盘等角位置测量元件可以检测机械臂的转角。

镀膜机深冷系统作用于低温蒸发材料的一种设备，可以将材料冷却到极低的温度以增强其蒸发特性和其他性能。

在镀膜过程中，通常需要将材料提高到非常高的温度以获得所需的蒸发速率，这同时会带来一些问题，例如材料的氧化、热膨胀影响等。

因此，利用深冷系统将材料冷却到较低的温度，可以降低这些问题的影响，同时也可以提高材料的纯度和性能。深冷系统通常使用制冷机组和低温液氮来实现这一过程。

1 是非常关键的。

2 镀膜机深冷系统主要的作用是将反应室中的气体冷却到非常低的温度，这样可以使得气体分子减速，从而有利于反应的进行，能够提高沉积薄膜的质量和均匀性。

3 此外，深冷系统还能够通过控制反应室中的温度来调节反应的速率和沉积薄膜的厚度，具有非常重要的技术应用价值。

4 总之，是多方面的，除了可以提高沉积薄膜的质量和均匀性，还可以实现对反应过程的精确控制。