质谱法是应用如高能电子流轰击、化学电离、强电场作用等多种离子化技术，使物质分子失去外层价电子而形成分子离子。

分子离子中的化学键又继续发生某些有规律的断裂而形成不同质量的碎片离子。选择其中带正电荷的碎片离子在电场或磁场的作用下，根据其质荷比（m/z，离子质量与电荷之比）的差异进行分离，按各离子m/z的顺序及相对强度大小记录的图谱即为质谱。