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化学
半导体化学品有哪些
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  • 小笨熊说故事
    已解决
    2024-01-18 10:51
    半导体化学品有哪些希望能解答下问题补充:
    半导体化学品有哪些希望能解答下
    解决时间 2025-12-22 21:24
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  • 最佳答案
  • 2024-01-18 10:51
  • 半导体化学品是指用于制造半导体器件的化学品,包括了各种高纯度化学品和特种气体。

    以下是一些常见的半导体化学品:

    1. 氨气(NH3):用于化学气相沉积(CVD)过程中的氮源和硅晶圆的表面清洗。

    2. 氢气(H2):用于硅基材料的氢氧化和还原反应。

    3. 氮气(N2):用于制造氮化硅薄膜和高温退火过程中的惰性气体。

    4. 氧气(O2):用于制造氧化硅薄膜和清洗过程中的气体。

    5. 氟化氢(HF):用于清洗硅晶圆表面和去除氧化硅薄膜。

    6. 氯化氢(HCl):用于清洗硅晶圆表面和去除金属杂质。

    7. 三氯甲烷(CHCl3):用于清洗硅晶圆表面和去除有机污染物。8. 二氧化氮(NO2):用于化学机械抛光(CMP)过程中的氧化剂。9. 一氧化二氮(N2O):用于化学气相沉积(CVD)过程的氧源。10. 甲基三氯硅烷(MTS):用于表面修饰和改善薄膜质量。这些化学品都是高纯度的,需要进行严格的质量控制和安全管理,以确保半导体制造过程的稳定性和安全性。

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  • 1楼
    2024-01-18 10:51

    半导体制造过程中常用的酸 半导体制造过程中常用的碱 半导体制造过程中常用的溶剂 半导体制造过程中常用的通用气体 半导体制造过程中常用的特种气体 硅片湿法清洗化学品 典型的硅片湿法清洗顺序 还有光刻胶、研磨液等

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