成分分析、元素分布之类的测试，你要是测元素价态肯定是不行的，你应该是用XPS来测，它可以测表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等，在元素组成这一块测试的精度要比SIMS低很多，但是价态测。

感觉提问主意不是很清晰。