在CAD中，您可以使用以下方法取消选择实体上的子对象：

1. 使用Shift键：按住Shift键，单击已选择的子对象。

这将取消对该子对象的选择，但仍然保持对其他子对象或父对象的选择。

2. 使用Ctrl键：按住Ctrl键，单击已选择的子对象。这将取消对该子对象的选择，同时保持对其他子对象或父对象的选择。

3. 使用选择集：如果您已经创建了一个选择集来选择实体的子对象，您可以在选择集中取消选择特定的子对象。选择集位于CAD界面的工具栏上，您可以通过单击选择集按钮打开选择集对话框。在选择集对话框中，您可以选择要取消选择的子对象，并点击取消按钮。

4. 使用快捷键：在CAD中，一些命令具有特定的快捷键，可以用于取消选择实体上的子对象。例如，您可以使用ESC键取消对当前选择的子对象的选择。请注意，具体的操作步骤可能因CAD版本和配置而有所不同。以上方法适用于大多数CAD软件，但您可能需要参考您正在使用的CAD软件的用户手册或文档，以获取准确的操作指南。