包括：规划设计：确定用途、空间布局和设计要求。

结构施工：进行墙体、天花板、地板等基本结构施工。空调系统：安装适当的空气处理设备和过滤系统。电气设备：安装照明、插座和其他电气设备。净化装置：设置空气过滤器、空气幕等净化设备。地面处理：进行地面封闭和防静电处理。封闭和密封：确保室内外气流不相互干扰。清洁和验证：进行清洁、净化度测试等验证步骤。运行调试：检查系统运行是否正常。保养和维护：建立定期维护计划，确保无尘室持续高效运行。