全球最早的科学城的雏形是诞生于1951年的美国斯坦福研究园。

该园建立初期，由与斯坦福大学有紧密联系的创新企业构成，随后成为从事柔性制造、研发及企业服务的企业（总部）集聚地。

20世纪50年代中期开始，研究园就逐步发展成为世界知名的高技术设计和制造中心——硅谷。随后；20世纪50、60年代起，前苏联、日本、韩国、德国等国家相继在郊区新建科学城，依靠国家行政和市场力量集聚大学、科技研发机构和产业创新资源。截至目前，全球已有超过600座科学城。其中，美国斯坦福科学城（硅谷）、俄罗斯新西伯利亚科学城、日本筑波科学城、韩国大德科学城、德国阿德勒斯霍夫科学城、丹麦哥本哈根科学城等在全球产生广泛影响。