六氟化硫为正八面体结构，键角90度。

sf6是人造惰性气体，无色无臭，化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于氢氧化钾。不与氢氧化钠、液氨、盐酸及水起化学的反应。

300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。

500℃以下对石英不起作用。

250℃时与金属钠反应，-64℃时在液氨中反应。与硫化氢混合加热则分解。

200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。