单光点线扫描法是一种比较成熟的薄膜曲率半径测量方法，测量光束经过形变的样品表面反射，再经过光程放大后，采集偏移的位置从而计算样品的等效曲率半径，但是单光点线扫描法需要测量多组(通常大于10组)数据后才可以计算一次曲率半径值，单次测量用时大于20秒，而且多组测量数据容易受到如环境振动等干扰，从而影响测量结果。