晶体中点缺陷（空位和间隙原子）的形成，是原子热运动的结果。

点缺陷在一定的温度下具有平衡浓度，是区别于其他缺陷的重要特征。空位浓度c与温度T的关系可表示为：c＝Aexp（-△Ev／kT），式中A为常数，△Ev是每增加一个空位的能量变化，k为玻尔兹曼常数。由式可以看出，在一定的温度下，点缺陷必然存在。